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晶圓片專用 超臨界干燥儀
專為MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)制備而設計的超臨界干燥儀,無塵室適用。
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  • 型號

    SCD-350M

    SCD-380A

    SCD-550A

    樣品池直徑

    4.56.5英寸

    4.56.5英寸

    6.58.5英寸

    晶圓片尺寸

    2,46英寸

    2,4,6英寸

    6,8英寸

    耐壓

    15MPa

    15MPa

    20MPa

    生產工藝

    高潔凈度組件,生產和檢測工序均在潔凈間完成

    操作控制

    手動

    自動,10寸觸摸屏

    手動/觸摸屏/PLC控制可選

    流量控制

    10-10000mL/min

    10-10000mL/min

    10-10000mL/min

    儀器尺寸

    650*450*500mm

    650*500*550mm

    700*550*1200mm


    燥樣品:晶圓片干燥專用,,適用于多種尺寸樣品,每次最多5片樣品;

    觀察視窗:帶藍寶石視窗和照明的高壓樣品腔,便于觀察樣品池內部情況;

    樣品池材質:316L不銹鋼一體加工,ep處理,適用于液態二氧化碳、高純乙醇、IPA和丙酮;

    制冷模式:內置壓縮機制冷,避免了二氧化碳制冷造成的氣體浪費,制冷溫度可快速達到0℃;

    樣品池填充:PTFE樣品室填充環可以調整樣品室內徑到適配2”,4”,6”晶圓片,節省LCO2用量,縮短干燥時間,提高干燥效率;

    過濾系統:包含雙級過濾,一級過濾精度:0.5um,二級過濾精度:0.003um;

    生產工藝:全部生產,測試流程均在無塵室操作,配件均為高潔凈度;

    壓力控制:儀器備有超壓自動泄壓系統,確保壓力可控;

    軟件設計:內置多種處理程序,也可自定義程序并重復使用,圖形化界面顯示;

    回收循環:可選配帶有co2回收接口的二氧化碳高壓泵,可實現co2增壓和循環;

    機箱設計:堅固防腐蝕的箱體,桌面放置,節省空間。


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